薄膜電阻的應(yīng)用廣泛,對(duì)于任意面積遠(yuǎn)大于厚度的情形,比如薄膜物理或者半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,常有納米級(jí)厚度的薄膜被沉積到晶片上,如果關(guān)心這些薄膜的電阻阻值大小時(shí),就需使用薄膜電阻這一概念。例如,在發(fā)光二極管的制造中,二極管PN結(jié)上作為電極而沉積的金屬的阻值很大程度影響了發(fā)光二極管的發(fā)光效率,因此需要最小化金屬半導(dǎo)體的79483MD,利用前面提到的四探針測(cè)量法以及傳輸線模型(TransmissiON Line Model)測(cè)量法,即可確定79483MD的大小和金屬下方半導(dǎo)體層的薄膜電阻阻值。常見(jiàn)薄膜電阻的分類:
1、碳膜電阻器
碳膜電阻碳膜電阻(碳薄膜電阻)利用真空噴涂技術(shù)在瓷棒上面噴涂一層碳膜,再將碳膜外層加工切割成螺旋紋狀,依照螺旋紋的多寡來(lái)定其電阻值,螺旋紋愈多時(shí)表示電阻值愈大。最后在外層涂上環(huán)氧樹(shù)脂密封保護(hù)而成。其阻值誤差雖然較金屬皮膜電阻高,但由于價(jià)錢便宜。碳膜電阻器仍廣泛應(yīng)用在各類產(chǎn)品上,是目前電子,電器,設(shè)備,資訊產(chǎn)品之最基本零組件。
2、金屬膜電阻器
金屬膜電阻金屬膜電阻(金屬拍攝電阻)同樣利用真空噴涂技術(shù)在瓷棒上面噴涂,只是將炭膜換成金屬膜(如鎳鉻) ,并在金屬膜車上螺旋紋做出不同阻值,并且于瓷棒兩端度上貴金屬。雖然它較碳膜電阻器貴,但低雜音,穩(wěn)定,受溫度影響小,精確度高成了它的優(yōu)勢(shì)。因此被廣泛應(yīng)用于高級(jí)音響器材,電腦,儀表,國(guó)防及太空設(shè)備等方面。
3、金屬氧化膜電阻器
某些儀器或裝置需要長(zhǎng)期在高溫的環(huán)境下操作,使用一般的電阻會(huì)未能保持其安定性。在這種情況下可使用金屬氧化膜電阻(金屬氧化膜電阻化物薄膜電阻器) ,它是利用高溫燃燒技術(shù)于高熱傳導(dǎo)的瓷棒上面燒附一層金屬氧化薄膜(用錫和錫的化合物噴制成溶液,經(jīng)噴霧送入500~500℃的恒溫爐,涂覆在旋轉(zhuǎn)的陶瓷基體上而形成的。材料也可以氧化鋅等) ,并在金屬氧化薄膜車上螺旋紋做出不同阻值,然后于外層噴涂不燃性涂料。其性能與金屬膜電阻器類似,但電阻值范圍窄。它能夠在高溫下仍保持其安定性,其典型的特點(diǎn)是金屬氧化膜與陶瓷基體結(jié)合的更牢,電阻皮膜負(fù)載之電力亦較高。耐酸堿能力強(qiáng),抗鹽霧,因而適用于在惡劣的環(huán)境下工作。它還兼?zhèn)涞碗s音,穩(wěn)定,高頻特性好的優(yōu)點(diǎn)。
4、合成膜電阻器
將導(dǎo)電合成物懸浮液涂敷在基體上而得,因此也叫漆膜電阻。由于其導(dǎo)電層呈現(xiàn)顆粒狀結(jié)構(gòu),所以其噪聲大,精度低,主要用他制造高壓, 高阻, 小型電阻器。
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